實(shí)驗(yàn)室用緊湊型真空鍍膜機(jī)射設(shè)備

實(shí)驗(yàn)室用緊湊型真空鍍膜機(jī)射設(shè)備

特點(diǎn)

1. 超緊湊機(jī)身設(shè)計(jì)：作為直流濺射類設(shè)備中的小型機(jī)，機(jī)身尺寸僅為160mm×450mm×290mm，真空系統(tǒng)內(nèi)置，便于放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，節(jié)省空間。
2. 簡(jiǎn)易操作：附帶小型真空計(jì)，能夠管理成膜條件，確保成膜條件的可再現(xiàn)性。
3. 專用試料臺(tái)與靶材臺(tái)：配備專用的試料臺(tái)與靶材臺(tái)，可以簡(jiǎn)單地調(diào)節(jié)靶材與基板之間的間距，方便操作。
4. 多功能性：可用于電極鍍膜，也可用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品的鍍膜。
5. 高精度濺射：采用DC磁控濺射方式，濺射時(shí)間可從0至15分鐘調(diào)節(jié)，最長(zhǎng)可達(dá)30分鐘（在連續(xù)模式下），濺射真空范圍為5~30Pa。

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用

• 電極鍍膜：適用于制作薄電極膜，特別適合于需要高精度的電極膜制備。
• 掃描電鏡成像：可用于非導(dǎo)電樣品的鍍膜，提高樣品的導(dǎo)電性，便于進(jìn)行掃描電鏡觀察。

特點(diǎn)

1. 超緊湊機(jī)身設(shè)計(jì)：作為直流濺射類設(shè)備中的小型機(jī)，機(jī)身尺寸僅為160mm×450mm×290mm，真空系統(tǒng)內(nèi)置，便于放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，節(jié)省空間。
2. 簡(jiǎn)易操作：附帶小型真空計(jì)，能夠管理成膜條件，確保成膜條件的可再現(xiàn)性。
3. 專用試料臺(tái)與靶材臺(tái)：配備專用的試料臺(tái)與靶材臺(tái)，可以簡(jiǎn)單地調(diào)節(jié)靶材與基板之間的間距，方便操作。
4. 多功能性：可用于電極鍍膜，也可用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品的鍍膜。
5. 高精度濺射：采用DC磁控濺射方式，濺射時(shí)間可從0至15分鐘調(diào)節(jié)，最長(zhǎng)可達(dá)30分鐘（在連續(xù)模式下），濺射真空范圍為5~30Pa

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技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用

• 電極鍍膜：適用于制作薄電極膜，特別適合于需要高精度的電極膜制備

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• 掃描電鏡成像：可用于非導(dǎo)電樣品的鍍膜，提高樣品的導(dǎo)電性，便于進(jìn)行掃描電鏡觀察

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