中空型式精確定位工作臺直動滑臺
中空型式精確定位工作臺直動滑臺
壓電滑臺基本系列_中空型式壓電滑臺中間開口的產(chǎn)品系列,適用于正/背檢、雷射穿透,結(jié)合顯微鏡及分析設備或儀器進行細微觀察、高精度測繪測量等。
從多軸薄型到大開口型提供適用于小型設備的多軸輕薄類型,和適合大尺寸面板的大開口類型。
進行平滑且精確的掃描透過高精度的回授控制,可根據(jù)指令訊號實現(xiàn)高可靠性的操作。
產(chǎn)品有2種機構(gòu)類型:分為共振頻率高、強調(diào)高速響應的「直接驅(qū)動機構(gòu)」和較長行程的「位移放大機構(gòu)」。
直接驅(qū)動機構(gòu)
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壓電滑臺基本系列_中空型式壓電滑臺中間開口的產(chǎn)品系列,適用于正/背檢、雷射穿透,結(jié)合顯微鏡及分析設備或儀器進行細微觀察、高精度測繪測量等。
從多軸薄型到大開口型提供適用于小型設備的多軸輕薄類型,和適合大尺寸面板的大開口類型。
進行平滑且精確的掃描透過高精度的回授控制,可根據(jù)指令訊號實現(xiàn)高可靠性的操作。
產(chǎn)品有2種機構(gòu)類型:分為共振頻率高、強調(diào)高速響應的「直接驅(qū)動機構(gòu)」和較長行程的「位移放大機構(gòu)」。
直接驅(qū)動機構(gòu)
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