產品資料
超純水在線超聲隔膜球閥復合型2方球閥閥門
產品名稱: 超純水在線超聲隔膜球閥復合型2方球閥閥門
產品型號: A型
產品特點: 超純水在線超聲隔膜球閥復合型2方球閥閥門日本 USL 推出的“純水超聲波清潔型 2 方球閥 A 型"是一款專為超純水（UPW）系統設計的隔膜-球閥復合結構閥門，核心思路是“閥內在線超聲+純水沖洗"，可在不拆解、不排放工藝管路的前提下，對閥腔、密封面及死角區的油脂、微粒進行原位去除，滿足半導體、面板廠對“金屬離子、TOC、顆粒求。結構特點
超純水在線超聲隔膜球閥復合型2方球閥閥門 的詳細介紹
超純水在線超聲隔膜球閥復合型2方球閥閥門
超純水在線超聲隔膜球閥復合型2方球閥閥門
日本 USL 推出的“純水超聲波清潔型 2 方球閥 A 型"是一款專為超純水（UPW）系統設計的隔膜-球閥復合結構閥門，核心思路是“閥內在線超聲+純水沖洗"，可在不拆解、不排放工藝管路的前提下，對閥腔、密封面及死角區的油脂、微粒進行原位去除，滿足半導體、面板廠對“金屬離子、TOC、顆粒求。
- 結構特點
- 閥體：兩段式全通徑 PTFE/PFA 襯里球閥，兩端法蘭口徑 2"（DN50），與純水主管路同徑，流阻小、無積液區
- 超聲單元：閥體外壁環形鑲嵌 6 片 40 kHz 超聲波換能器（功率 30 W×6），通過閥壁傳導形成空化，直接作用于閥腔液體
- 純水接口：閥腔上下各設 1/4" PFA 快擰口，可引入 18 MΩ·cm 超純水或藥液，形成“底部進-頂部出"的錯流沖洗，配合超聲將剝離顆粒即時帶走
- 密封：一體式 PFA 隔膜 + 彈簧加載閥座，實現零外漏、零顆粒脫落，閥門等級 ISO Class 5 潔凈室包裝
- 性能參數
- 工作壓力：0.8 MPa
- 工作溫度：5 – 95 °C（超聲開啟時建議 ≤ 60 °C，以延長）
- 清洗節拍：純水沖洗 2 min + 超聲 3 min + 終淋 1 min，總耗時 6 min，顆粒去除率 ≥ 99 %（0.1 µm 基準）
- 超聲空化強度：約 2 W cm?2，足以破壞油脂膜，但對 PTFE/PFA 襯里無損傷
一句話總結：USL“純水超聲波清潔型 2 方球閥 A 型"把環形 40 kHz 超聲+錯流純水沖洗集成到 2" PFA 襯里球閥，6 min 在線完成油脂/顆粒去除，TOC/顆粒度指標滿足半導體級超純水系統要求，管路“零拆解"維護的經濟型解決方案。
一句話總結：USL“純水超聲波清潔型 2 方球閥 A 型"把環形 40 kHz 超聲+錯流純水沖洗集成到 2" PFA 襯里球閥，6 min 在線完成油脂/顆粒去除，TOC/顆粒度指標滿足半導體級超純水系統要求，管路“零拆解"維護的經濟型解決方案。
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